SEM納米探針臺

產品介紹

三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現微納操縱和測量的目的。

標準配置包含：探針主體、適配SEM/FIB的底座、過真空法蘭、探針控制器及控制手柄

選配：低溫、高溫樣品臺、光纖夾頭和光纖真空饋通、EBIC套件

產品特點

▲ 結構緊湊，高剛性

▲ 零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統 

▲ 壓電陶瓷位移平臺具有超長使用壽命

▲ 內部根據需求可增加位置反饋 

▲ 應用：納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等

▲ 適配SEM：日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等

應用領域

規格參數

樣品臺面平面度：10μm

探針臺總重量：225g

三軸XYZ行程：±10mm

最大運動速度：3mm/s

細調分辨率：0.5nm

案例應用