SEM納米力測量系統

產品介紹

產品特色

▲ 易用性強

▲ 兼容擴展性強

▲ 加熱，光學等多種模塊可選

▲ 閉環高精度、大量程力學測量

▲ 閉環納米尺度微動臺控制，位移更加精確

▲ 壓痕、劃痕、壓縮等多種模式可選

▲ 超高穩定性，輕松獲得高質量原位視頻

技術參數

功能：壓痕，壓縮，拉伸

載荷量程：100mN

力傳感分辨率：10uN

響應時間：50ms

微調臺X/Y；模式：閉環控制  行程：100(±20)um  精度：20nm

粗調臺X/Y/Z；模式：開環控制  行程：XY軸±10mm、Z軸行程10mm  最小步長：≤1nm

標準納米力臺尺寸：130*65*55mm

裸臺重量：約300g(壓痕)

樣品尺寸：≤30*30mm

選配模塊：加熱(最高400℃)、加電

應用案例

納米力臺微球壓碎過程