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掃描電鏡中的電子束對樣品的影響和調節方法

更新時間:2024-05-09    瀏覽量:1293
 掃描電鏡中的電子束對樣品有幾方面的影響:

1. 表面充電效應:您已經正確地指出了使用導電性樣品支撐或涂層,以及在樣品表面鍍覆導電材料可以減少表面充電效應。此外,還可以通過調整掃描電鏡的工作模式(如使用環境掃描電子顯微鏡,它允許在較高壓力下工作,從而減少充電效應)來減輕這一問題。

2. 樣品損傷:降低電子束的能量和減少暴露時間確實是減少樣品損傷的有效方法。此外,還可以通過優化掃描模式(例如,使用快速掃描和慢速采集的組合)來減少樣品受到的輻射劑量。

3. 放射性偽影:您提到的使用低加速電壓和適當的檢測器是正確的。還可以通過能量色散X射線光譜(EDS)分析來區分真正的X射線信號和偽影,以及通過使用背散射電子衍射(EBSD)技術來獲得晶體結構信息,這有助于識別和排除偽影。

4. 散射效應:使用較低的電子束能量和更小的束直徑是減少散射效應的有效方法。此外,還可以通過優化樣品的形狀和大小,例如制作更薄的切片或者使用聚焦離子束(FIB)技術來制備樣品,以減少電子束在樣品中的散射。

5. 綜合調節方法:在實際操作中,可能需要綜合考慮上述各種因素,并根據樣品的特性和成像目標進行優化。例如,對于不導電的生物樣品,可能需要進行金屬涂覆;而對于需要觀察微觀結構的材料科學樣品,則可能需要使用FIB制備薄片。

為了調節電子束對樣品的影響,通常需要根據具體的樣品類型和成像要求采取相應的措施。這可能涉及調整電子束的能量、電流和聚焦,選擇合適的檢測器和樣品準備方法,以及在成像過程中對樣品進行實時監控和調整。

澤攸科技ZEM系列臺式掃描電鏡

安徽澤攸科技有限公司是一家具有自主知識產權的科學儀器公司, 自20世紀90年代開始投入電鏡及相關附件研發以來,研發團隊一直致力于為納米科學研究提供優秀的儀器。目前,公司有包括PicoFemto系列原位TEM測量系統原位SEM測量系統ZEM系列臺式掃描電鏡JS系列臺階儀納米位移臺二維材料轉移臺探針臺及低溫系統光柵尺等在內的多個產品線。

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